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電子半導(dǎo)體廢氣治理方案

發(fā)布日期:2022-12-16瀏覽次數(shù):9659

  電子半導(dǎo)體廢氣治理方案


  電子廠半導(dǎo)體筒式沸石轉(zhuǎn)輪技術(shù),在實際設(shè)計中,需要加洗滌塔作為預(yù)處理裝置,來攔截粉塵和易溶性的酸堿廢氣。


  半導(dǎo)體行業(yè)廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點。


  半導(dǎo)體制造工藝產(chǎn)生的揮發(fā)性有機廢氣,主要來源于光刻、顯影、刻蝕及擴散等工序,與半導(dǎo)體制造工藝相比,半導(dǎo)體封裝工藝產(chǎn)生的有機廢氣較為簡單,主要為晶粒粘貼、封膠后烘烤過程產(chǎn)生的烘烤廢氣


  針對電子廠半導(dǎo)體行業(yè)有機廢氣和毒性氣體的治理,筒式沸石轉(zhuǎn)輪廢氣處理技術(shù)的凈化原理是:


  將普通的220V/380V交流電通過變壓器,變頻器轉(zhuǎn)換為高頻高壓的電壓,產(chǎn)生足以擊穿氣體的電壓,釋放出高能電子,高能電子破壞有機廢氣中的氣體分子之間的化學(xué)鍵,斷開這些化學(xué)鍵從而產(chǎn)生了各種碳原子、氧原子、氫原子、氫氧自由基、臭氧等混合體,等離子體中的氧原子和碳原子結(jié)合形成二氧化碳,氧原子和氫原子結(jié)合形成水分子,終產(chǎn)生排放到大氣中的氣體為無污染的二氧化碳(CO2)和水(H2O)。

電子半導(dǎo)體企業(yè)廢氣沸石轉(zhuǎn)輪廢氣處理工藝

  我公司定制的半導(dǎo)體有機廢氣處理系統(tǒng)方案,VOCs排放濃度符合當?shù)氐呐欧艠藴?,在半?dǎo)體行業(yè)中該系統(tǒng)設(shè)備更科學(xué)、更安全、高效率的解決廢氣問題,性價比更高,且無二次污染。

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